LED-Statusanzeige in der Halbleiterfertigung

Signalleuchten TL30 Basic unterstützen Mitarbeiter im Nahbereich von Wafer-Beschichtungsmaschinen

In der Halbleiterfertigung werden Wafer oft in speziellen Boxen, so genannten FOUPs (Front Opening Unified Pod), transportiert und daraufhin Maschinen zugeführt. Dabei muss der Fortschrittsstatus der FOUPs überwacht werden, um hohe Produktionseffizienz zu gewährleisten. Mit einer einfachen Zustandsanzeige in Echtzeit sind Signalleuchten eine bewährte Lösung, jedoch kann das tägliche Arbeiten in deren direkter Nähe zu hoher Augenbelastung führen. Die Folge sind Müdigkeit und ein verringertes Leistungsvermögen. Um solche Risiken auszuschließen, sind TL30-Basic-Signalleuchten von Banner zugleich gut sichtbar und augenschonend.

Ihre Vorteile

  • Platzersparnis: TL30 hat eine schmale zylindrische Bauform von nur 30 mm Breite
  • Kosteneffizient dank wartungsfreien LED-Leuchten und robustem Gehäuse mit IP65- sowie IK07-Schutz
  • Augenschonendes Licht mit LED-Technik erlaubt Arbeiten in direkter Nähe der Signalleuchten
     

  • Gut sichtbare Statusanzeigen können Produktionsprozesse beschleunigen

  • TL30-Signalleuchten zeigen den aktuellen Prozessfortschritt an

  • Die kompakten LED-Leuchten arbeiten autark – eine Steuerung wird nicht benötigt

Fortschritt von Verfahrensschritten in der Fertigung signalisieren

Die Beschichtung (auch: Abscheidung) ist nur eine von vielen Stationen in der Fertigung von Halbleitereinheiten. Zwischen den Produktionsschritten befinden sich die Siliziumwafer in Transportboxen (FOUPs) – dort herrschen die notwendigen Umgebungsbedingungen. Einer Beschichtungsanlage können parallel mehrere solcher FOUPs zugeführt werden. Nach Abschluss des Maschinenvorgangs werden die Wafer wieder in den FOUPs eingelagert und sind damit bereit für den Weitertransport. Eine klare Statusanzeige der Behälter vereinfacht und beschleunigt Prozesse im Reinraum. 

Ausgewogenes Lichtniveau mit LED-Signalleuchten

Für Mitarbeiter kann die Nähe zu hellen Signalleuchten aber auch ein Risiko darstellen und zu Müdigkeit, vermehrten Fehlern und Leistungsverlust führen. Die LED-Signalleuchten TL30 Basic bieten eine klare Statusanzeige, gewährleisten zudem aber ein ausgewogenes und angenehmes Lichtniveau, das menschliche Augen nicht anstrengt. Anlagenbediener können daher ohne Beschwerden auch über einen längeren Zeitraum in der Nähe der Signalleuchten arbeiten.

Farben korrespondieren mit Prozessstufen

Montiert über den FOUP-Zuführungspunkten, weisen die TL30-Leuchten in zugeordneten Farben auf die jeweilige Prozessstufe hin. Die Statusanzeige erfolgt unmittelbar und auf einen Blick. Ist ein Schritt abgeschlossen, bleibt das TL30 grau, um falsche Hinweise durch Umgebungslicht zu vermeiden. Sobald das grüne Segment aufleuchtet, kann die Transportbox entnommen und durch eine neue ersetzt werden.

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